เครื่องควบคุมการไหล เครื่องวัดอัตราการไหล (Mass flow controller, Mass flow meter)

เครื่องควบคุมการไหลเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในควบคุมอัตราการไหลของก๊าซโดยใช้การวัดอัตราการไหลของมวลของของไหลและก๊าซที่มีความแม่นยำสูง โดยไม่จำเป็นต้องคำนวณค่าความแตกต่างของอุณหภูมิหรือแรงดันที่ใช้ในขณะที่ปริมาตรที่ไหลจากอุปกรณ์ ซึ่งแตกต่างจากมาตรวัดการไหลและวาล์วเข็มที่จะต้องปรับค่าเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิหรือความดัน

เครื่องควบคุมการไหล (Mass flow controller) และเครื่องวัดอัตราการไหล (Mass flow meter) ถูกนำมาใช้ในด้านของเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์อิเลกทรอนิกส์ที่ต้องการความแม่นยำสูงในการวัดและควบคุมตลอดจนในด้านการวิเคราะห์ เซลล์เชื้อเพลิง ผลึกเหลว EL อินทรีย์ เทคโนโลยีชีวภาพ อาหาร การวัดด้านสิ่งแวดล้อม การควบคุมก๊าซเผาไหม้ อุปกรณ์โรงงาน อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการ และอื่นๆ